產品名稱：晶圓退火真空爐 真空氣氛燒結爐 氧化鋯真空爐

一．概述

晶圓退火真空爐 真空氣氛燒結爐 氧化鋯真空爐，主要以抽完真空后通入保護氣氛進行高溫處理的設備，以抽真空形式快速把爐內空氣置換，以減少爐內氧含量，并節省保護氣。本爐主要適用于小批量生產，利用人工把產品放入爐腔內燒結之用，具有 使用靈活性高等優點。

二、主要參數

型    號：BXZQ-54-16

爐腔尺寸：700*400*430mm（深X寬X高）

使用氣氛：氮氣、氬氣（正壓＜0.04Mpa下使用）

使用方法：預抽真空后通入氣體保護燒結

額定功率：≈54KW（實際功率由儀表根據熱損耗自動控制調節）

電    壓：380V

額定溫度：1600℃

控制方式：可控硅移相調壓

報警保護：超溫、斷偶報警保護

溫控儀表：智能PID調節，30段可編程式控溫曲線（全自動升、降、保溫）

分度號：采用B分度鉑銠熱電偶

真空泵：旋片式真空泵

加熱溫區：1個溫度區域單獨控制

加熱元件：硅鉬棒

注：晶圓退火真空爐 真空氣氛燒結爐 氧化鋯真空爐等其他型號規格可以根據用戶實際需求設計，價格僅參考，歡迎咨詢詳談：0510-87195028 18888033558 吳經理。