在真空壓力燒結爐這種設備中,燒結料受到高溫的同時還受到機械壓力和真空的作用，可以用來燒結密度僅次于鑄造的產品。一般粉末材料充填到石墨制成的模子內，受到700-1500MN/m3的機械壓力，且在真空下加熱到2500℃。模子可通過電流直接加熱，亦可感應間接加熱。

   真空壓力燒結爐主要用于燒結易同高溫氣體反應材料的致密料坯，如氧化物、碳化物、硼化物等料氣燒結后能達到很高的密度，一般密度大于理論值的95%，而且兼有很高純度。石墨電阻器和石墨模在真空操作中的重量損失極微。真空熱壓燒結是在壓實工藝中同時利用高壓、溫度和時間等諸多參數來控制燒結體的質量。